公开了一种蒸汽预热变频固体饮料灭菌装置,其包括有加热箱,冷却箱,保温箱和物料输送管道,物料输送管道的与进料装置连通,并穿过加热箱,保温箱和冷却箱与物料灌装机连通,蒸汽预热变频饮料灭菌装置还包括有变频流量泵,设置于保温箱与冷却箱之间的物料输送管道内;物料输送管道的外管壁设置有导热肋片;加热箱包括有加热单元和预热单元,加热单元连通一蒸汽热源;加热单元内连通冷凝水输送通道,冷凝水输送通道与预热单元连通.通过在物料输送管道上设置变频流量泵,使得本发明可以适用于各种不同性质的物料,降低了成本;进一步通过在物料输送管道的外管壁上设置导热肋片提高了热交换率,进一步降低了成本.